XPlanar
助力实现无磨损晶圆输送
XPlanar 系统是一款集传统输送技术诸多优点于一身的平面磁悬浮产品输送系统，可在半导体设备制造中为在一个工具内以及在几台设备之间处理晶圆及其它产品提供了各种全新的选择：XPlanar 系统的动子/托盘运动是非接触式的，不会产生机械磨损。
针对特定应用布局机器设备
XPlanar 系统为用户根据自己的个性化需求布局机器设备提供了很大的自由度。XPlanar 平面模块可以自由拼接成任意几何形状的传输平面，比如矩形、圆形或树状结构，几乎无任何限制。机器设备的布局可以完全根据用户要求的功能设计，XPlanar 系统的大小可以完全根据用户的要求调整，帮助用户避免额外的费用支出，节省宝贵的生产空间。
柔性无磨损工件输送系统
动子托盘按照单独定义的路线输送每个工件。各个生产步骤可以根据需要相互衔接，使得固定的工位序列成为过去。每个动子托盘的运动相互间可以完全解耦：产品可以相互超车，并且可以在不影响生产流程的情况下从产品流中撤出或进入等候区（例如，用于冷却）。由于在一个系统中提供了不同尺寸的动子托盘，因此可以同时生产不同规格的产品。XPlanar 系统具有卓越的动态性能和机器人的高精度，是处理不同批量大小和产品规格变化的高效定位系统。动子托盘根据为每个产品单独定义的复杂 XY 几何图形运动。
大幅减少清洁和维护工作量
XPlanar 系统的一大特点就是它能够大幅减少清洁和维护工作量。与传统的输送系统相比，XPlanar 不需要使用导轨、滑轮或润滑系统。系统所需的定期维护间隔时间大幅减少，从而可以显著提高系统的可用性。系统的另外一个优势是：所有平面模块和动子托盘表面都非常光滑，没有死角。为了在特别苛刻的环境中使用，XPlanar 平面模块的表面可以选择玻璃、不锈钢或者塑料材质，方便清洁，无需使用任何清洁剂，也不会影响动子托盘的悬浮性能。
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